KRI 考夫曼离子源 KDC 系列美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列上海伯东美国原装进口考夫曼离子源 KDC 系列, 加热灯丝产生电子, 是常见的考夫曼型离子源, 提升设计输出质量高, 稳定的电子流.美国 KRI 考夫曼公司新升级 Gridded KDC 系列离子源, 新的特性包含自对准离子光学和开关式电源控制. 考夫曼离子源 KDC 系列包含多种不同尺寸的离子源满足各种应用. 考夫曼离子源 KDC 提供一套完整的方案包含考夫曼离子源, 电子中和器, 电源供应器等等能直接整合在各种真空设备中, 比如实验室小型研究开发, 镀膜机, load lock, 溅射系统, 卷绕镀膜机和线性镀膜.美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 特性：通过加热灯丝产生电子低电流高能量宽束型离子源美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 应用：辅助镀膜(光学镀膜) IBAD溅镀&蒸镀 PC表面改性, 激活 SM沉积 DD离子溅射沉积和多层结构 IBSD离子蚀刻 IBE 美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术指标：型号KDC 10KDC 40KDC 75KDC 100KDC 160Discharge 阳极DC 电流DC 电流DC 电流DC 电流DC 电流离子束流>10 mA>100 mA>250 mA>400 mA>650 mA离子动能100-1200 V100-1200 V100-1200 V100-1200 V100-1200 V栅极直径1 cm Φ4 cm Φ7.5 cm Φ12 cm Φ16 cm Φ离子束聚焦, 平行, 散射 流量1-5 sccm2-10 sccm2-15 sccm2-20 sccm2-30 sccm通气Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他典型压力< 0.5m Torr< 0.5m Torr< 0.5m Torr< 0.5m Torr< 0.5m Torr长度11.5 cm17.1 cm20.1 cm23.5 cm25.2 cm直径4 cm9 cm14 cm19.4 cm23.2 cm中和器灯丝1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 开发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子冲洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理. 若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联系方式 :上海伯东 : 罗先生

伯东 : 王女士T: +86-21-5046-1322

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