我们都知道稀有气体包含氦、氖、氩、氪、氙、氡。在常温下，稀有气体的单质为气体，且除氩气外，剩余几种在大气中含量很少（特别是氦），故得名“稀有气体”。

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历稀有气体曾被叫作“惰性气体”，这是因为它们的原子.外层电子构型除氦为1s2（上标）外，剩余都是8电子构型（ns2np6，都是上标），而这两类构型都是稳定的结构。所以，稀有气体的化学性质很不活泼，所以过去人们曾认为他们与其他元素之间不会产生化学反应，称之为“惰性气体”。但是正是这种..的概念束缚了人们的思想，阻碍了对稀有气体化合物的研究。1962年，在加拿大工作的26岁的英国青年化学家N。Bartlett合成了..个稀有气体化合物Xe[PtF6]（6为下标），引起了化学界的较大兴趣和重视。很多化学家竞相开展这方面的工作，先后陆续合成了多种“稀有气体化合物”，加快了稀有气体化学的发展。而“惰性气体”一名也不再符合事实，故改称稀有气体。

稀有气体的物理性质和化学性质

空气中约含1％（体积百分）稀有气体，其中绝多数是氩。稀有气体都是无色、无臭、无味的，微溶于水，溶解度随分子量的增加而增大。稀有气体的分子都是由单原子组成的，它们的熔点和沸点都很低，随着原子量的增加，熔点和沸点增大。它们在低温时均可以液化。稀有气体原子的.外层电子结构为ns2np6（氦为1s2），是.稳定的结构，所以，在一般条件下不与其他元素作用，常年以来被认为是化学性质极不活泼，不能产生化合物的惰性元素。直到1962年，英国化学家N。巴利特才利用强氧化剂PtF6与氙作用，制得了..种惰性气体的化合物Xe[PtF6]，以后又陆续合成了其他惰性气体化合物，并将它的名称改为稀有气体。

空气是制取稀有气体的主要原材料，通过液态空气分级蒸馏，可得稀有气体混合物，再用活性炭低温选择吸附法，就能将稀有气体分离开来。

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常见气体类别：

在电子工业中普通气体，也称大宗气体(Bulkgas)：氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氮气(A2)等；除普通气体外，电子工业还能用到大量的高纯特种气体(Specialtygas)，如：SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。这些特殊气体按照气体性质，类别通常归纳为腐蚀性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。

半导体行业中使用的电子特种气体，很多都是对人体有害的。比如，半导体制程工艺zui常见的特种气体：硅烷（SiH4）就具有自燃特性，一旦发生泄漏，它们就会与空气中的氧气剧烈反应并开始燃烧。再比如磷烷（PH3）和坤烷（AsH3）也具有性，任何轻微的泄漏均可能对人们的生命造成伤害。正是由于这些显著的风险，所以对于高纯气体供应系统设计的anquan性要求特别高。

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